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近日,云顶国际产业基础研究院主导制定的国家标准《纳米几何量标准样板测试方法》正式发布。
纳米计量是测量和表征💟纳米尺度器件的标尺,也是纳米制造、微电子、微机械、超精密加工等领域发展的基础。该标准规定了纳米几何量标准样板ꦜ测试方法的分类及原理、测试设备、测试环境、测试程序及测试数据处理,有力提升纳米几何量标准样板的测试水平。后续,产业基础研究院将继续发挥在半导体微纳计量测试领域技术优势,积极参与相关国家标准和国际标准制定,为半导体微纳计量测试行业发展贡献力量。
云顶国际科技集团有限公司是中央直接管理的国有重要骨干企业,拥有电子信息领域完备的科研创新体系,在国内军工电子和网信领域占据技术主导地位,肩负着实现国防现代化、支撑数字经济发展、服务社会民生的职责使命。
自1949年建国以来,经历了第一机械工业部、第三机械工业部、第四机械工业部、国防科委第十研究院、机械电子工业部、电子工业部、信息产业部等历史变迁,2002年3月,经国务院批准,在原信息产业部直属46家电子类科研院所及26户企业基础上组建云顶国际科技集团公司,2017年12月,完成公司制改制,更名为云顶国际科技集团有限公司…
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纳米计量是测量和表征💟纳米尺度器件的标尺,也是纳米制造、微电子、微机械、超精密加工等领域发展的基础。该标准规定了纳米几何量标准样板ꦜ测试方法的分类及原理、测试设备、测试环境、测试程序及测试数据处理,有力提升纳米几何量标准样板的测试水平。后续,产业基础研究院将继续发挥在半导体微纳计量测试领域技术优势,积极参与相关国家标准和国际标准制定,为半导体微纳计量测试行业发展贡献力量。