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云顶国际产业基础研究院主导制定的纳米技术国家标准正式发布
来源：新闻中心
发布时间：2024年06月13日 编辑：新闻中心

　　近日，云顶国际产业基础研究院主导制定的国家标准《纳米几何量标准样板测试方法》正式发布。

　　纳米计量是测量和表征💟纳米尺度器件的标尺，也是纳米制造、微电子、微机械、超精密加工等领域发展的基础。该标准规定了纳米几何量标准样板ꦜ测试方法的分类及原理、测试设备、测试环境、测试程序及测试数据处理，有力提升纳米几何量标准样板的测试水平。后续，产业基础研究院将继续发挥在半导体微纳计量测试领域技术优势，积极参与相关国家标准和国际标准制定，为半导体微纳计量测试行业发展贡献力量。

　　

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